将为其晶圆制造厂供给各种超高纯度气体积塔半导体制氮机成功开机
发布时间： 2023-12-23 来源：人才招聘
集微网音讯，近来，林德气体宣告，其为积塔半导体制作的一台制氮机在上海开机成功，现在开机运转的为方案制作的两台高纯制氮机中的第一台，第二台估计将于2022年上线启用。
据悉，该台制氮机坐落上海临港工业区，将为积塔半导体的晶圆制造厂供给各种超高纯度气体（如氮气、氧气、氩气、二氧化碳）以及紧缩干空气（CDA）。
积塔特征工艺生产线月设备搬入。该项目坐落临港重装备工业区，总投资359亿元，是上海市政府与我国电子信息工业集团协作协议的重要内容，也是其间第一个落地的严重工业项目。
据悉，该项目方针是建造月产能6万片的8英寸生产线英寸特征工艺生产线日，积塔半导体特征工艺生产线正式投片。（校正/小如）
